RoHS, ELV 관련 각종전자제품, 자동차, 원자재 등의 금속, 플라스틱, 고무, 섬유, 페인트, 종이, 포장재중의 유해중금속 분석 (납, 카드늄, 수은, 브롬, 크롬)
광물 구조 분석
▣ 기기 및 장비모델명
Field Emission Scanning Electron Microscope-Schottky type (FE-SEM-EDS)
JEOL (JSM-IT800SHL)
▣ 원리 및 특징
진공 하에서 고전압을 필라멘트에 인가하면 열 전자빔이 방출되어지고, 이 열전자빔이 전도성을 가진 시료표면에 입사되면 전자빔의 대부분은 열 발생으로 잃고, 나머지 전자는 시료의 구성 원자를 여기 또는 전리시키고, 일부는 산란되어 시료에서 밖으로 나오게 됨
이때 여러 가지 정보를 가진 신호를 방출하게 되는데 이들 신호 중 2차전자 및 후방산란전자를 포집하여 광증폭기를 거쳐 모니터에 이미지를 나타냄
EDS가 장착되어 특성X선의 에너지 값을 분류하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석이 가능
▣ 분석 항목
고분자의 형태와 크기, 표면형상 관찰(필름, 섬유 등)
금속 및 세라믹의 표면관찰 및 성분분석, 결정분포 촬영
반도체 기판위에 증착시킨 박막 두께 관찰
나노 수준 미세구조의 표면 관찰(CNT 및 SNT와 같은 분말)
▣ 응용 분야
금속재료분야
지질시료조성분석(암석, 광물, 지하수 등)
화학분야
바이오 및 재료분야의 구조분석
광물 성분 분석
▣ 기기 및 장비모델명
Field Emission Electron Probe Micro Analyzer (FE-EPMA)
JEOL (JXA-8530F)
▣ 원리 및 특징
열전자총 대신에 Field Emmission(FE) 전자총을 사용하여 점분해 3.0nm의 분해능으로 이미지를 얻을 수 있어 고배율관찰에 폭넓게 이용되고 있는 전계방사형 주사전자현미경의 역할과 함께 전자빔이 시료에 조사될 때 전자빔과 반응하여 발생되는 여러 신호중 특성 X선을 검출하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석을 주목적으로 한 장비
특성 X-Ray을 이용한 성분분석은 두 종류(EDS . WDS)의 분광계를 이용하는데, 이중 EDS는 특성 X-Ray의 에너지값으로 분류하여 빠른 시간내에 구성성분의 종류와 함량을 분석할 수 있으며, WDS는 특성 X-Ray의 파장(Wavelength)으로 분류하여 성분에 대한 보다 정확한 정성 및 정량 분석이 가능
특히 WDS 분석시 표준시료를 활용하여 미지시료보다 정확한 함량을 분석할 수 있고 이는 비파괴적 정량분석이라는 장점을 가짐
▣ 분석 항목
각종재료(세라믹.금속.반도체.전자재료등)의 정성 및 정량분석
금속등 각종 재료의 국소부위 정성 및 정량분석
Carbon등 경원소와 EDS분석으로 잘 분리되지 않는 원소의 정성 및 정량분석
금속 접합부, 금속 표면처리에 따른 각 원소의 확산 및 분포정도 분석
시료 표면부의 각 원소에 대한 면 분석 및 선 분석
기타 전처리 작업과 WDS분석이 가능한 미지의 시료에 대한 정성 및 정량분석
▣ 응용 분야
운석 및 광물등의 감정
암석형성의 지온 및 지압에 대한 연구
광물학에서의 광물의 화학조성 및 정량분석과 정량분석을 통한 누대구조. 용리구조. 불균일성 등의 분석